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微透镜阵列设计与加工承接

衍射光栅(Diffractive Grati

衍射光学器件(DOE)设计与加

衍射光栅(Diffractive Grating)设计与加工承接
时间:2020-08-24 21:24来源:讯技光电作者: 技术部点击:次打印
衍射光栅是通过周期性结构,对入射光的振幅或相位(或两者同时)进行周期性空间调制。衍射光栅不仅用于光谱学,还广泛用于计量、光通讯、信息处理等领域。衍射光栅种类很多,常用的有闪耀光栅、全息光栅、矩形光栅等。
AR增强现实眼镜可以使用衍射光栅(又被称为浮雕光栅)来实现光波导。相比于几何光波导,浮雕光栅波导可以将AR眼镜做得更轻薄,更适合消费类电子领域的应用。为了使往眼睛方向衍射的光耦合效率达到最高,AR镜片的入射光栅最好使用斜齿 (slanted grating)或者三角形的闪耀光栅(blazed grating),但这两种光栅的设计和加工难度都很高。
 
基于VirtualLab Fusion内置的傅里叶模态法(Fourier Modal Method,FMM/RCWA)以及参数扫描(New Parameter Run)和参数优化(New Parametric Optimization)功能,能够针对不同的视场角,快速的完成倾斜光栅以及闪耀光栅等的设计并对所需的级次进行优化,以获得最大的耦合效率,最后导出GDSII结构以进行微纳加工。
 
目前,我们除了可以提供各种常用的衍射光栅标准产品之外,还可以提供客户化的定制加工服务。特别是可以实现纳米级的斜齿光栅和三角形的闪耀光栅的加工。
 
    

左图:基于VirtualLab Fusion设计的倾斜光栅折射率分布;右图:加工所得的倾斜光栅
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