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超透镜(Metalens)结构设计与加工承接
时间:2020-08-27 23:20来源:讯技光电作者: 技术部点击:次打印
超透镜是一种通过将具有特殊电磁特性的光学天线,按照一定方式进行排列的二维平面透镜结构,可实现对入射光振幅、相位、偏振等参量的灵活调控,可以用在超分辨显微成像、全息光学、消色差透镜等方面。超透镜可以将包括白光在内的整个可见光谱,聚焦在同一点上且具有很高的分辨率。
一方面,通过导入ZEMAX的Binary 2 Surface,VirtualLab Fusion可以对功能性的MetaLens进行建模和仿真,以研究其相位调制效果;另一方面,VirtualLab Fusion也可以通过傅里叶模态法(Fourier Modal Method,FMM)以及参数运行(New Parameter Run)和参数优化(New Parameter Optimization)功能,实现MetaGrating的设计和优化,以获得偏振无关和高效率的光栅结构。
 
对于MetaLens以及MetaGrating,我们采用了纳米压印技术,结合沉积、刻蚀等半导体工艺技术,可以实现低成本大面积的超透镜结构加工。
 

 
左图:基于VirtualLab Fusion设计的2D MetaGrating   右图:按照一定方向进行排布的MetaLens结构

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